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先端装備部品 etc
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base plate(SUS304, 2860X2300X80T)
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mask_stage(SUS304, 1240X830X35)
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cover plate(AL5083, 1900X2220X25T)
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LID(A5052, 740X760X85)
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upper_shield(A5052, 825X790X185)
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holder(SUS304, 1275X65X82)
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